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产品资料

半导体特气检漏仪(自动吸引式)XP-703D

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 半导体特气检漏仪(自动吸引式)XP-703D
产品型号: XP-703D
产品展商: 日本新宇宙
产品文档: 无相关文档

简单介绍

半导体特气检漏仪(自动吸引式)XP-703D半导体特气检漏仪(自动吸引式)XP-703D半导体特气检漏仪(自动吸引式)XP-703D 特点: *适合于检测半导体特气的微量泄漏。 采用声光报警。


半导体特气检漏仪(自动吸引式)XP-703D  的详细介绍

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规格


型 号

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)

检测原理

专线型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度
(单位:ppm

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10秒以内


 


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